 |
|
全自動擴散爐
|
 |
產品詳情
一．設備概述：
全自動擴散爐采用電腦工控機軟件控制方式，該設備用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導纖維等行業(yè)的擴散、氧化、退火、合金和燒結等工藝。設備主要適合于3-6英寸工藝硅片的處理，具有多條工藝曲線，調用方便快捷；運行中，具有停電記憶功能觸摸微機界面，操作方便；具有超溫保護功能。
二．設備主要特點和優(yōu)勢
1★具有強大的軟件功能,友好的人機界面，用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù)，并可隨時顯示各種工藝狀態(tài)；配有故障自診斷軟件，可大大節(jié)省維修時間；
2★采用可靠性工控機+PLC模式，對爐溫、進退舟、氣體流量、閥門進行全自動控制,實現(xiàn)全部工藝過程自動化；
3★程序可以實現(xiàn)手/自動工作，在停電或中途停機后，再次啟動可以根據(jù)工藝手動升溫，節(jié)省工藝時間；
4★具有多種工藝管路，可供用戶方便選擇；
5★冷端采用PT100檢測環(huán)境溫度進行溫度補償，避免環(huán)境溫度變化，對爐膛溫度產生影響，避免層間干擾；
6★推拉舟控制采用高速脈沖閉環(huán)控制，避免馬達丟步，運行顫抖現(xiàn)象。推拉舟運行完一個周期，自動校準位置，有效防止定位偏差；
7★氣體流量控制精確，采用模擬信號閉環(huán)控制，強弱電分開，各種數(shù)據(jù)交互采用標準總線，提高抗干擾能力，保證數(shù)據(jù)安全；氣體打開具有緩啟動功能；
8★具有多種報警功能及安全保護功能；
9★恒溫區(qū)自動調整，串級控制，可準確控制反應管的實際工藝溫度；
三．設備參數(shù)類型：
|
方式：
|
左/右手操作方式，大工作臺面（側面采用高效凈化）
|
|
可配工藝管數(shù)量：
|
1-5管系統(tǒng)
|
|
凈化臺潔凈度：
|
100級（10000級廠房）
|
|
氣體流量控制：
|
均用MFC控制
|
|
送取片方式：
|
自動推拉,采用碳化硅漿推拉舟,軟著陸方式
|
|
使用類型：
|
3-6寸爐管
|
|
工作溫度：
|
600～1290℃
|
|
爐管有效口徑:
|
￠150-300mm
|
|
總功率：
|
18-28KVA/管 保溫功率：8-15KVA/管
|
|
三相五線制：
|
380V±10%，50Hz±10%，次級線不小于35平方高溫線
|
|
報警:
|
具有超溫報警，斷偶報警，氣體互鎖，氣體緩啟動等功能
|
|
恒溫區(qū)長度及段數(shù)：
|
400-1100mm（3-5段控溫）
|
|
控溫精度：
|
±0.5℃（≧1000℃）
|
|
單點溫度穩(wěn)定性：
|
±1℃/12h
+ / - 1 ℃ / 12 h
|
|
控溫方式：
|
工控機 + PLC控制 + 觸摸屏
|
|
熱偶類型:
|
熱電偶采用S/R型，每管Spike 4-10支熱偶
|
|
******可控升溫范圍：
|
(500～1285℃)0--15℃/min
|
|
******可控降溫范圍：
|
(1285～500℃)0--10℃/min
|
|
設備總外形尺寸：
|
根據(jù)設備配置不同,尺寸有所不同
|
四．主要構成：
|
1、
|
設備主機
|
|
2、
|
加熱系統(tǒng)
|
|
3、
|
排風冷卻系統(tǒng)
|
|
4、
|
排毒箱（和設備主機做為一體）
|
|
5、
|
凈化工作臺
|
|
6、
|
控制系統(tǒng)
|
|
7、
|
自動碳化硅漿推拉舟機構
|
|
|
